详细说明:
玻璃校正块
主要用于对影像测量仪(二次元)、投影仪、工具显微镜等测量仪器的比例尺校准。
尺寸:63*63mm
厚度: 2.0mm
光刻板基材:Quartz;Soda Lime
小线宽:1.0um
接触孔:1.5*1.5um
Cd公差:正负0.1um
均一性(范围):0.12um
套刻精度:0.12um
缺陷大小:0.8um
缺陷密度:0.6DPSI